1920年，捷克斯洛伐克作家卡雷尔·恰佩克在其科幻小说《罗萨姆的机器人万能公司》中，根据Robota（捷克文，原意为“劳役、苦工”）和Robotnik（波兰文，原意为“工人”），创造出Robot（机器人）一词。
1939年，美国纽约世博会上展出了西屋电气公司制造的家用机器人Elektro。这台机器人由电缆控制，可以行走，能说77个字，而且可以抽烟，不过离真正干家务活还差很远。但它让人们对家用机器人的憧憬变得更加具体。
1948年，诺伯特·维纳出版了《控制论》，阐述了机器中的通信和控制机能与人的神经、感觉机能的共同规律，率先提出以计算机为核心的自动化工厂。
1954年，美国人乔治·德沃尔成功研制出世界上第一台可编程的机器人，并且注册了专利。这种机械人能按照不同的程序从事不同的工作，因此具有通用性和灵活性。
1959年，美国人英格伯格和德沃尔联手制造出世界上第一台工业机器人，他们认为汽车工业最适于使用机器人干活，因为使用重型机器进行工作，生产过程较为固定。随后，英格伯格成立了世界上第一家机器人制造工厂——Unimation公司。由于英格伯格对工业机器人的研发和宣传做出了重大贡献，因此他被称为“工业机器人之父”。从此，机器人的历史才真正开始。
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