牛津仪器纳米分析部在电子显微镜的能谱分析技术方面处于世界领先地位，该部近日刚刚成功安装完成第 1000台X-Max超大面积SDD能谱探头。迄今为止，该设备为世界上唯一一台具有80mm2晶体活区的探头，投入市场仅仅两年就已达到令人瞩目的成绩。德国柏林的Atotech公司继之前三台X-Max探头投入繁忙的测试工作之后，又马不停蹄地引进第四台能谱仪进厂，恰好成就牛津仪器纳米分析部的第 1000台X-Max超大面积SDD能谱探头的成功安装。
当今世界，对纳米材料的研究已逐渐成为材料及生物等研究领域的主流，而由于纳米颗粒尺度较小，受到扫描电镜的电子束照射后产生的X-ray产额较低，导致能谱EDS探头接收的X-ray计数较低，严重影响能谱分析的精度及效率，因此开发出可接收更高X-ray计数的能谱探头已成为纳米材料研究的重要课题。在此背景下，世界上第一台大面积硅漂移探头--X-Max--正式诞生，该探头有效的解决了纳米颗粒物相鉴定困难的问题。相同条件下，X-Max探头的晶体有效面积为80mm2，比传统普通EDS探头捕获X-ray的能力高出十倍之多。在X-Max探头诞生两年前，只有SDD探头有类似大面积晶体活区。
牛津仪器纳米分析部总经理Lan Barkshire说："牛津仪器的目标是通过开发更多更先进的设备，使局限于小规模实验室的研究转化为全世界都大规模普及的产品，而X-Max探头正是基于我们公司理念的最佳代表，我们最高兴的事情就是听到客户利用新设备又做出令人振奋的结果。"
2011年1月，X-Max能谱探头正式落户德国柏林Atotech GmbH公司，该公司拥有世界领先的一体化生产半导体及印刷电路板产品工厂。本次安装的X-Max能谱探头分辨率达到124eV，大大高于规制要求。 Atotech 公司的显微分析部负责人Ralf Schulz博士说："分析结果的可靠性与精确性对我公司来说至关重要，我们选择安装四台X-Max超大面积SDD能谱探头正式考虑到该产品在分析精度及分析效率等方面的卓越表现而确立的，该产品可以更块速、更准确、更便捷的分析材料物性。"
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