日前，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）在上海理想能源设备公司（以下简称理想能源）成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面，并有望大幅降低太阳能发电成本。
在生产车间，理想能源总经理钱学煜介绍，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入PECVD反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，厚度增加了两个微米，即成为转化率可达10%的薄膜太阳能电池。
据介绍，代表第二代光伏技术的薄膜太阳能电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄的光电材料形成的一种太阳能电池。它在弱光条件下仍可发电，既可应用于大规模光伏电站，也可制成柔性及半透明电池，实现真正的光伏建筑一体化应用。这种电池可大幅降低生产过程的能耗，具备显著降低原料和制造成本的潜力，近年来逐渐成为光伏产业的热点。不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备PECVD，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。目前，生产设备制造成本占我国薄膜太阳能电池发电成本的7成左右，这导致电力上网价格比传统电价高出一大截，其产业化瓶颈十分明显。
近年来，上海积极推进高新技术产业化，大力扶持光伏设备国产化，并将其作为经济结构调整和产业转型升级的重要举措。在各方支持之下，2009年8月，留美博士钱学煜与一批设备、工艺、管理专家，在浦东张江高科技园区成立理想能源公司。一年多里，该公司相继完成了PECVD首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。钱学煜说，该设备采用了创新的超高频射频技术，精密的真空和温度控制技术，快速自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能，其产品性能优于国际一流设备，但价格远低于同等的进口设备。
理想能源的主要投资方之一正泰集团股份有限公司董事长南存辉说，新能源是国家重点推进的战略性新兴产业之一，光伏产业前景巨大，但关键是光伏上网发电价格能否与传统电价持平。掌握核心技术、提高效率、降低成本，是推动光伏产业可持续发展的关键。
工信部装备工业司副司长李东表示，高端薄膜太阳能电池关键生产设备的研制成功，为我国新能源产业的下一步发展奠定了坚实基础。
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